EDX

Energiedispersive Röntgenmikroanalyse:

Röntgenstrahlung wird in elektrische Ladung und anschliessend im Feldeffekttransistor in Spannung umgewandelt und verstärkt.

Da die Energie der Röntgenstrahlung von der Ordnungszahl der Atome abhängt, kann anhand der Röntgensprektren auf die chemische Zusammensetzung der Probe geschlossen werden.

Die Kombination von REM EDX bildet ein weites Anwendungsgebiet im materialwissenschaftlichen Gebiet.

So werden mit dieser Methode zum Beispiel Glasbruchflächen analysiert.